上海微系统所在异质晶圆上集成超小型“路由器”
人民日报客户端上海频道肖宏广2025-12-12 20:05

近日,中国科学院上海微系统与信息技术研究所异质集成XOI课题组在国际学术期刊《自然·通信》(Nature Communications)上发表论文:实验制成的频分器在两个频段均实现了大于15分贝的信号比,作为一种晶圆上集成的超小型“路由器”在多频段协同通信当中有着巨大的应用潜力。此外,相关研究成果也有望催生声光、量子器件方面新的突破。

自1965年叉指换能器(IDT)以来,声表面波就成为了研究声子物理的一个便捷的平台。声子的精准控制可以带来提高系统的信噪比,降低系统功耗并提高系统的稳定性,因此,研究人员开发了诸多声子调控手段。例如给声子装上轨道的声波导,增强声波幅度电声放大器,以及调整声波相位的移相器等。目前,研究更多关注声波传输过程中的调控,该课题组则聚焦在声波发射的过程。

据介绍,科研团队基于LiTaO3/SiC异质集成衬底平台,发现了压电异质衬底上的双模天然单向发射现象,并基于新奇的声子发射现象实现了超小型频分器。

责任编辑:黄晓慧
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